Российские физики создали источник плазмы для использования в передовых литографах

Российские физики проводят эксперименты по созданию очень сложной и к тому же инновационной технологии получения плазмы, используемой современными литографами. Ученые намерены превзойти методику крупнейшего в мире производителя оборудования для выпуска полупроводников — нидерландской ASML.