Lam Research: слой защиты подложек Coronus DX обеспечивает большую долю выхода годных кристаллов

Компания Lam Research – ведущий поставщик оборудования для производства полупроводников. Она как раз сообщила о новом методе повышения доли выхода годных кристаллов. При производстве современных чипов количество ступеней обработки и экспонирования подложек продолжает увеличиваться, иногда кристаллы стыкуются друг с другом, поэтому все более важной становится тема защиты подложек.

Важным фактором загрязнения во время производства являются края подложек. Чем больше ступеней обработки проходит подложка, тем больше вероятность, что частицы с краев попадут на рабочую область подложки и приведут к загрязнению. Поэтому края подложки теперь обрабатываются, такой шаг уменьшает количество свободных частиц. Lam Research как раз представила покрытие Coronus DX, которое будет защищать подложки.

Загрязнения и неоднородности – серьезная проблема производства современных чипов. Мы узнали об этом во время посещения Intel Fab 28 в Израиле . Число ступеней обработки подложек значительно увеличилось, в ряде случаев экспонированная ...