В Зеленограде создали первые отечественные кластерные системы для техпроцесса 65 нм

Научно-исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ (входят в Группу компаний «Элемент») завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для плазмохимического осаждения (ПХО) ...