Минпромторг планировал выделить 1,6 млрд рублей на "разработку автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150, 200 мм", но в итоге цена контракта снизилась до 1,56 млрд. Исполнителем, как сообщает "МашТех", стала компания "Микрон" (группа компаний "Элемент").
